04. März 2026
Lesezeit 17 Min.
High Purity
Technische Sauberkeit als strategischer Erfolgsfaktor
Erfolge High Purity
04. März 2026
Lesezeit 17 Min.
Erfolge High Purity
High Purity

Technische Sauberkeit als strategischer Erfolgsfaktor

Von DUV zu EUV bis High-NA-Lithografie: Mit jedem Technologiesprung verschärfen sich die Sauberkeitsstandards von OEMs, müssen Chip- und Anlagenhersteller neue, noch extremere Grenzwerte erfüllen.
Partner im direkten Umfeld wie ein weltweit führender Technologiekonzern für hochpräzise optische und mechatronische Komponenten müssen maximale Reinheit im Sub-Nanometer-Bereich erbringen und nachweisen. Für Zulieferer entlang der Supply Chain gelten ebenfalls strikte Kriterien.

Reinigung auf High-Purity-Level

MAFAC Schlüsseltechnologie für Halbleiter und Optik

Fertigung auf höchstem Niveau – Herausforderung Reinigung
Kaum eine Branche stellt so extreme Anforderungen wie die Halbleiter-und Optoelektronik. Reinheit ist hier nicht nur Qualitätsmerkmal, sondern Funktionsvoraussetzung. Systeme für die EUV-Lithografie, Wafer-Scanner, Module für Maskeninspektion und Prozesskontrolle arbeiten nur dann zuverlässig, wenn selbst filigranste Elemente sicher High-Purity-Vorgaben erfüllen.

Für die Reinigung bedeutet das: Sie muss nicht an Standards anschließen, sondern – wie die Zielbranchen – neue setzen. Nur so lassen sich Baugruppen fertigen, die im Ultrahochvakuum, in Reinräumen und unter extremen optischen Bedingungen dauerhaft bestehen – bei den größten Marktführern ebenso wie bei spezialisierten Partnern in der Wertschöpfungskette.
 

MAFAC Reinigungslösung für einen globalen, strategischen Technologiepartner
Mit Standorten in Europa, Asien und Nordamerika zählt das Unternehmen zu den international führenden Anbietern hochpräziser optischer und mechatronischer Komponenten. Es ist strategischer Partner für OEMs und Tier-1-Anwendungen in High-Purity-Umgebungen.
Das Portfolio reicht von Einzeloptiken bis zu komplexen Modulen. Im Zentrum stehen Hochleistungsoptiken, verbunden mit strikten Anforderungen an Sauberkeit, Funktionalität und Rückverfolgbarkeit.

Nahaufnahme einer Person in Reinraumkleidung die einen Computerchip betrachtet

Gefertigt wird in Reinräumen der ISO-Klasse 7 und höher, ergänzt durch klimatisierte High-End-Bereiche mit nahezu partikelfreien Bedingungen. Präzise Fertigungs- und Beschichtungsverfahren stellen sicher, dass optische Flächen und mechanische Strukturen exakt die geforderte Geometrie und Sauberkeit erreichen. 
Um die größte Kontaminationsquelle – den Menschen – zu minimieren, läuft die Produktion hochautomatisiert. Gefertigt wird in mittleren bis kleinen Losgrößen mit oft nur wenigen Dutzend Bauteilen pro Charge. Verarbeitet werden hochreine Gläser, Spezialkeramiken, beschichtete Metalle und andere strukturkritische Materialien. Die Toleranzen bei optischen Flächen und in den sensiblen Montageprozessen liegen im Submikrometerbereich, also deutlich unter 0,001 µm.

"Die Anforderungen an High Purity unterscheiden sich von Branche zu Branche – in der Halbleiterfertigung sind sie extrem und steigen weiter. Unser Anspruch ist es, diese Vorgaben zukunftssicher zu erfüllen und Prozesse zu gestalten, die mit ihren Aufgaben wachsen."

Kai Klussmann, Leiter Produkmanagement bei MAFAC

Königsdisziplin Reinigung – mit besonderen Herausforderungen
Unter High-Purity-Bedingungen ist Reinigung mehr als ein Standardprozess. Statische Verfahren wie Tauchbäder oder einfache Spritztechnik reichen hier nicht aus. Sie erfassen komplexe, innen liegende Geometrien nur unvollständig. In feinsten Bohrungen, Kanälen und verwinkelten Kavitäten bleiben minimale, aber funktionskritische Rückstände zurück. Besonders anspruchsvoll sind partikuläre und filmische Verunreinigungen unterhalb der Nachweisgrenze. Gefordert ist die vollständige Entfernung molekularer Rückstände und der analytisch belastbare Nachweis der geforderten Reinheit mit Verfahren wie RGA (Residual Gas Analysis).

Und schließlich das Risiko der Rückkontamination im Reinraumprozess: Nach erfolgreicher Reinigung können Bauteile durch Prozessluft, Medienführung oder offene Transfers erneut kontaminiert werden. Je höher die Vorgaben an Luft- und Wasserqualität, desto größer auch die Herausforderung, dieses Risiko auszuschließen.

Warum MAFAC – und was den Unterschied machte
Von Anfang an spricht MAFAC nicht über Maschinenfeatures, sondern über das, was im High-Purity-Umfeld wirklich zählt: Validierung, Reinraumtauglichkeit, Medienführung und Rückverfolgbarkeit. Die Gespräche laufen auf Augenhöhe, mit technischem Tiefgang und ausgeprägtem Branchenverständnis.

MAFAC hat nicht über Maschinen, sondern über Prozesse und Verfahren wie die dynamische Druckwechseltechnologie MAFAC VAP geredet und die Wirkung unmittelbar an unseren Bauteilen nachgewiesen. Das war für uns der Aha-Moment!“

Fazit des Kunden

Statt Präsentationen und Pauschalaussagen folgen reale Tests: Originalbauteile werden im MAFAC Customer Center unter Reinraumbedingungen gereinigt – mit kontrollierter Luft- und Wasserführung, nachvollziehbarer Trocknung und dokumentierten Parametern. Der Kunde kann den Ablauf live verfolgen, die Ergebnisse sind greifbar und unmittelbar auf die eigene Produktion übertragbar.

Der Wendepunkt kommt, als das Wirkprinzip von MAFAC VAP (Vacuum Activated Purification) erklärt und am konkreten Bauteil demonstriert wird. Spätestens jetzt ist klar: MAFAC VAP ist herkömmlichen Systemen beim Reinigen komplexer Geometrien überlegen. Das ist der Game Changer, der Kunde gibt das „Go!“.

Vom Analyseergebnis zum belastbaren High-Purity-Prozess

Mit minimalem Aufwand für den Kunden entsteht in der Folge in wenigen Wochen ein validiertes Reinigungsergebnis – direkt übertragbar auf die Produktionsumgebung. Auf Basis der Tests entwickelt MAFAC gemeinsam mit dem Kunden einen mehrstufigen Ablauf, abgestimmt auf Bauteile, Materialien und Grenzwerte. 

Herzstück ist die Kombination der patentierten Druckwechseltechnologie MAFAC VAP mit Ultraschall, ergänzt durch definierte Spül- und Trocknungsschritte sowie eine präzise Medienführung.
Alle Prozessschritte werden auf der künftigen MAFAC-Reinigungsanlage des Kunden im firmeneigenen Reinraum unter realen Bedingungen erprobt. Unter Einsatz von HEPA-gefilterter XCDA-Prozessluft, aufbereiteter Reinstwasserqualität und in streng kontrollierter Umgebung. So lassen sich Rückkontaminationen ausschließen, Parameter optimieren und stabile Abläufe nachweisen – noch vor der Integration in die Serienfertigung.

Entscheidend ist dabei nicht nur die Technologie, sondern die Methodenkompetenz von MAFAC: Ergebnisse werden gemeinsam mit dem Kunden interpretiert, in Prozessmodelle übersetzt und in bestehende QS- und OEM-Strukturen integriert.
Das Ergebnis: Jeder Schritt läuft nachvollziehbar und dokumentierbar ab. Komplexe Geometrien werden sicher erreicht, die geforderten High-Purity-Standards reproduzierbar eingehalten. So entsteht ein validierbarer Gesamtprozess, der die Anforderungen des Kunden wie auch seiner Zielmärkte zuverlässig erfüllt und langfristig absichert.

Die neue Reinigungslösung fügt sich nahtlos in die Produktionsstruktur des Kunden ein. Jeder Ablauf – von Reinigung über Spülung bis Trocknung – ist stabil dokumentiert, auditierbar und in bestehende QS- und OEM-Strukturen eingebunden. Das reduziert den Qualifizierungsaufwand, beschleunigt Zulassungen und erhöht die Sicherheit im Fertigungsalltag.

Für MAFAC bestätigt das Projekt die eigene Positionierung: 
Als Architekt für Sauberkeit gelingt es, High-Purity-Anforderungen technisch und methodisch sicher zu beherrschen. 
Reinigung wird zur Schlüsselkompetenz – für OEMs ebenso wie für Zulieferer, die sich als Partner in der globalen Halbleiter-Supply-Chain qualifizieren wollen.

Verwandte Blogbeiträge

Eine Person in blauer Schutzkleidung und weißen Handschuhen reinigt eine Oberfläche in einem Reinraum mit einem Tuch.
3 Min.
Branchentalk High Purity
Sauberkeit als relative Größe
High Purity – echtes Highlight-Thema oder Hype?
High Purity ist der Begriff der Stunde. High Purity, Präzisions- oder Feinstreinigung oder gar „die Königsklasse der Reinigung“ begegnet einem gefühlt überall. Bestimmt die Diskussionen um anspruchsvolle Branchenanwendungen, ist als Highlight-Thema auf Fachmessen allgegenwärtig.
mehr lesen
Nahaufnahme einer Metallkette, die in der Unschärfe verläuft.
3 Min.
Branchentalk High Purity
High Purity – Aufgabenstellung an die gesamte Prozesskette
Woran liegt es, wenn die für Ihre Branche, für Ihre Kunden geforderte hohe Sauberkeitsspezifikation nicht oder nicht mehr erreicht wird? Bestimmt an der Reinigungsanlage, oder?
mehr lesen
3 Min.
Branchentalk High Purity
High Purity – viele Fragen, qualifizierte Antworten
Herausforderung höchste Sauberkeit: Angenommen, Sie haben als Zulieferer neue, anspruchsvolle Märkte im Blick. Möchten sich als Qualitätspartner für die Herstellung sauberkeitskritischer Bauteile oder Komponenten empfehlen.
mehr lesen
Reinigungssituation in einem Reinraum, im Hintergrund Transfersystem MAFAC Continuo
9 Min.
High Purity Know How MAFAC Stories
High Purity-Kompetenz auf dem Clean Event 2025
In der Nähe von Eindhoven, im Herzen der Hightech-Region der Niederlande, verfolgt das Clean Event 2025 ein klares Ziel: »Connecting the industrial cleanliness value chain« – die Wertschöpfungskette für industrielle Sauberkeit vernetzen. Die Veranstaltung bringt High-End-Kunden wie ASML, Thermo Fisher Scientific und TRUMPF mit einer Vielzahl von Zulieferern zusammen.
mehr lesen
Schale mit Heidelbeerjoghurt, dekoriert mit frischen Heidelbeeren und Minzblättern.
9 Min.
Erfolge
Lebensmitteltechnik
Der Prozess macht den Unterschied
Gewicht verlieren mit Diätdrinks, mit Eiweiß-Shakes den Muskelaufbau unterstützen, sekundenschnell Kartoffelpüree zaubern, eine heiße Schokolade genießen: Nahrungsmittel in Pulverform sind praktisch. Und dank strikter Vorgaben gesundheitlich unbedenklich, alle Prozesse müssen höchsten Anforderungen genügen. Für einen Global Player eröffnen sich durch MAFAC-Technologien neue, sichere Möglichkeiten zum Reinigen und Trocknen produktführender Teile.
mehr lesen
Drei Luxusuhren, darunter eine mit schwarzem Zifferblatt, eine mit blauem Zifferblatt und eine mit weißem Zifferblatt, auf weißem Hintergrund.
8 Min.
Erfolge
PRÄZISIONSTECHNIK | UHREN und Schmuck
Ein außergewöhnliches Lastenheft
So außergewöhnlich wie der Präzisionschronometer einer Luxusmarke aus dem Haut-Jura ist auch das Lastenheft, das ein Partner zu erfüllen hat. Gefragt ist eine bis ins Detail perfekte Lösung, die wie ein Uhrwerk funktioniert. Der Prozess muss von der ersten Sekunde an genau so laufen wie geplant.
mehr lesen
Metallgitter und -platten in einem industriellen Reinigungsbehälter.
7 Min.
Erfolge Medizintechnik
Medizintechnik
Lochplatinen für Chirgurgiekörbe – Rückstandsfrei sauber und absolut trocken
Die Chirurgiekörbe, für die MBengineering Lochplatinen aus Edelstahl fertigt, sind medizintechnische Produkte mit entsprechend strikten Vorgaben an Qualität und Prozesse: Die Platinen müssen gemäß DIN EN ISO 9001 und ISO 13485 rückstandsfrei sauber und absolut trocken sein.
mehr lesen
Verschiedene chirurgische Instrumente, darunter Zangen und Greifer, auf einem weißen Hintergrund
7 Min.
Erfolge Medizintechnik
Medizintechnik
Reinigung chirurgischer Instrumente – Einführung eines komplett neuen Prozesses
Chirurgische Instrumente in einzelnen, kaskadierten Kleinbecken reinigen und danach von Hand mit der Druckluftpistole trocknen: Das führt zwar zum gewünschten Reinigungsergebnis, ist es aber wirtschaftlich? Mit der Einführung eines komplett neuen Prozesses für das Reinigen steigert die Gebrüder Zepf Medizintechnik Qualität und Effizienz.
mehr lesen
Innenansicht eines industriellen Raums mit blauen Regalen und hängenden blauen Arbeitskleidungen. An der Glastür steht der Schriftzug “TRUMPF”.
14 Min.
Erfolge
Cleaner than Fiction
Reinigungslösungen für die Lasertechnologie
Neunundzwanzig: Das ist die maximale Anzahl der „größten“ Partikel mit 5 oder mehr µm, die in der Reinraumproduktion ISO-Klasse 5 vorhanden sein dürfen – pro Kubikmeter Luft. Klingt wie aus einem Science Fiction Film? Ist Realität in den Reinraumbereichen bei der TRUMPF Laser SE in Schramberg, die Festkörperlaser für die industrielle Materialbearbeitung entwickelt und produziert.
mehr lesen
Drei Lippenstifte in Rot, Rosa und Orange mit goldener Hülle vor gelbem Hintergrund.
9 Min.
Erfolge
Kosmetikindustrie
Sorgenfalten Fehlanzeige – GMP-konform und automatisiert reinigen
In der Kosmetikindustrie sind Rückstandsfreiheit und Prozesssicherheit Pflicht. MAFAC liefert passgenaue Reinigungslösungen für produktberührende Teile, die strengste Hygieneanforderungen erfüllen und GMP-konform sind.
mehr lesen
Eine Hand in OP-Handschuh hält ein Endoskop
15 Min.
Erfolge Medizintechnik
Medizintechnik
Minimale Rückstände: Risiko für Prozess und Produkte
Ob chirurgische Instrumente, endoskopische Systeme, bildgebende Verfahren oder Geräteplattformen: Die Anforderungen an die Bauteile eines Medizintechnikherstellers sind hoch. OEMs verlangen validierte Prozesse, die MDR fordert zudem lückenlose Nachverfolgbarkeit, internationale Märkte erwarten dokumentierte Qualität. Essenzieller und bislang kritischer Part: die industrielle Bauteilreinigung.
mehr lesen
Ein weisses, ungereinigtes 3D-DruckBauteil, das auf einem Häufchen 3D-Druckpulver liegt
14 Min.
Additive Fertigung | 3D-Druck Erfolge
Additive Fertigung
Beste technische Sauberkeit in der additiven Fertigung
Additive Fertigung steht für Gestaltungsfreiheit und technologische Innovation – und bringt klassische Reinigungsverfahren an ihre Grenzen. MAFAC beweist für einen führenden Hersteller additiv gefertigter Hochleistungsbauteile, dass sich auch in diesem Zukunftssektor mit entsprechend zukunftsgerechten Technologien perfekte Reinigungsergebnisse erzielen lassen.
mehr lesen