MAFAC Technologie- und Prozesskompetenz für Halbleiter- und Präzisionsoptik-Reinigung
MAFAC verfügt über patentierte, exakt auf High-Purity-Anforderungen ausgelegte Reinigungstechnologien. Sie bilden die Basis für belastbare, validierbare Prozesse in hochsensiblen Halbleiter- und Optikanwendungen. Verfahrenskombination, technische Anlagenausstattung und Prozessführung sind präzise auf Bauteile, Oberflächen, Reinheitsvorgaben und Produktionsumgebung abgestimmt.
Anlagentechnik für High-Purity-Anwendungen
Materialien, Oberflächengüten und Verarbeitungstechnologien präzise auf High-Purity-Spezifikationen abgestimmt, optional ergänzt um Schutzsysteme wie Laminar-Flow-Boxen.
Integriertes Medienmanagement
Kontrollierte Wasser- und Luftführung mit HEPA-gefilterter XCDA-Prozessluft und Reinstwasser (UPW) – für stabile, reproduzierbare High-Purity-Bedingungen.
Wasserbasierte High-Purity-Reinigung
Lösemittelfrei und materialschonend – ohne Beeinträchtigung empfindlicher Oberflächen. Ausgelegt auf Werkstoffe mit höchsten Anforderungen an Ausgasungsverhalten und HIO-relevante Restkontaminationen.
Anwendungsgerechte Prozessauslegung
Berücksichtigen von vakuum- und lithografienahen Rahmenbedingungen bereits bei der Wahl von Medien, Prozessen und Anlagenkomponenten.
Mehrstufige Reinigungs- und Spülkonzepte
Zwei- oder Drei-Bad-Systeme mit kontrollierter Medienführung zum sicheren Vermeiden von Rück- und Kreuzkontamination.
Leistungsstarke Trocknungsverfahren
Heißluft, Impulsblasen oder Vakuum – einzeln oder kombiniert für definierte Trocknungsergebnisse bis absolut trocken, auch in Innenkonturen und an strukturkritischen Funktionsflächen.
Präzise steuerbare Prozessparameter
Druck, Temperatur, Zeit und Medienqualität exakt einstellbar – für reproduzierbare Bauteilreinheit über Varianten und Serien hinweg.
Automatisierte, werkstückgeführte Abläufe
Geschlossene, bedienerunabhängige Prozessführung in der Anlage für konstante Reinigungs- und Trocknungsergebnisse.
Automatisierte, werkstückgeführte Abläufe und Prozesslösungen
Geschlossene, bedienerunabhängige Prozessführung in der Anlage , Skalierbares Transfersystem mit integrierten Laminar-Flow-Modulen für kontrolliertes Bauteilhandling und minimierte AMC-Rückbelastung.
Auditfeste Prozessüberwachung
Durchgängige Inline-Erfassung qualitätskritischer Prozessparameter – für Trendanalysen, frühzeitige Drift-Erkennung und datenbasierte Prozessfreigaben mit vollständiger Traceability.